New LIGA2.X process for the industrial fabrication of single of mold inserts and polymeric microparts
Heneka, J.; Guttmann, M.
; Hanemann, T.; Plewa, K.; Saile, V.
; Hanemann, T.; Plewa, K.; Saile, V.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2013 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240092893 |
| HGF-Programm | 43.16.01 (POF II, LK 02) KNMF laboratory for micro a.nanostruct. |
| Erscheinungsvermerk | Von Bauelementen zu Systemen : MikroSystemTechnik Kongress 2013, Aachen, 14.-16.Oktober 2013 |