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New LIGA2.X process for the industrial fabrication of single of mold inserts and polymeric microparts

Heneka, J.; Guttmann, M.; Hanemann, T.; Plewa, K.; Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240092893
HGF-Programm 43.16.01 (POF II, LK 02)
Erscheinungsvermerk Von Bauelementen zu Systemen : MikroSystemTechnik Kongress 2013, Aachen, 14.-16.Oktober 2013
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