New LIGA2.X process for the industrial fabrication of single of mold inserts and polymeric microparts

Heneka, J.; Guttmann, M.; Hanemann, T.; Plewa, K.; Saile, V.

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seit 10.09.2018

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2013
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240092893
HGF-Programm	43.16.01 (POF II, LK 02) KNMF laboratory for micro a.nanostruct.
Erscheinungsvermerk	Von Bauelementen zu Systemen : MikroSystemTechnik Kongress 2013, Aachen, 14.-16.Oktober 2013