| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2013 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240094208 |
| HGF-Programm | 43.14.02 (POF II, LK 01) X-Ray-Optics |
| Erscheinungsvermerk | Von Bauelementen zu Systemen : MikroSystemTechnik Kongress 2013, Aachen, 14.- 16.Oktober 2013 |