Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2013 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 240094215 |
HGF-Programm | 43.16.01 (POF II, LK 02) KNMF laboratory for micro a.nanostruct. |
Erscheinungsvermerk | Von Bauelementen zu Systemen : MikroSystemTechnik Kongress 2013, Aachen, 14.- 16.Oktober 2013 |