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Herstellung ferroelektrischer Dünnschichten mittels direkter UV-Lithografie

Benkler, M.; Paul, F.; Hanemann, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2013
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 240094640
HGF-Programm 43.12.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Von Bauelementen zu Systemen : MikroSystemTechnik Kongress 2013, Aachen, 14.- 16.Oktober 2013
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