Herstellung ferroelektrischer Dünnschichten mittels direkter UV-Lithografie
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2013 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240094640 |
| HGF-Programm | 43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials |
| Erscheinungsvermerk | Von Bauelementen zu Systemen : MikroSystemTechnik Kongress 2013, Aachen, 14.- 16.Oktober 2013 |