A design framework for micro devices manufactured by a modular multi-process platform

Gleadall, A.; Vladov, N.; Kimmig, D.; Plasch, M.; Dickerhof, M.; Segal, J.; Ratchev, S.

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seit 12.05.2018

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2014
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240097342
HGF-Programm	43.14.03 (POF II, LK 01) System integration
Erscheinungsvermerk	9th International Workshop on Microfactories (IWMF 2014), Honolulu, Hawaii, October 5-8, 2014