| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2014 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240099474 |
| HGF-Programm | 43.14.03 (POF II, LK 01) System integration |
| Erscheinungsvermerk | 115.Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik (DGaO), Karlsruhe, 10.-14.Juni 2014 |