Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2015 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240101741 |
HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
Erscheinungsvermerk | 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2015), Anchorage, Alaska, June 21-25, 2015 |