| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240101810 |
| HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
| Erscheinungsvermerk | 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Transducers (Transducers 2015), Anchorage, Alaska, June 21-25, 2015 |