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SMARTLAM - A modular, flexible, scalable, and reconfigurable system for manufacturing of microsystems

Scholz, S.; Mueller, T.; Plasch, M.; Limbeck, H.; Iseringhausen, T.; Dickerhof, M.; Schmidt, A.; Woegener, C.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240102927
HGF-Programm 43.22.03; LK 01
Erscheinungsvermerk 4th International Conference on Intelligent Systems and Applications (INTELLI 2015), St.Julians, Malta, October 11-16, 2015
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