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SMARTLAM - A modular, flexible, scalable, and reconfigurable system for manufacturing of microsystems

Scholz, S. ORCID iD icon; Mueller, T. ORCID iD icon; Plasch, M.; Limbeck, H.; Iseringhausen, T.; Dickerhof, M.; Schmidt, A. ORCID iD icon; Woegener, C.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240102927
HGF-Programm 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems
Erscheinungsvermerk 4th International Conference on Intelligent Systems and Applications (INTELLI 2015), St.Julians, Malta, October 11-16, 2015
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