Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2015 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 240103083 |
HGF-Programm | 43.23.02 (POF III, LK 01) X-Ray Optics |
Veranstaltung | 6. Mikrosystemtechnik Kongress (2015), Karlsruhe, Deutschland, 26.10.2015 – 28.10.2015 |
Erscheinungsvermerk | MikroSystemTechnik Kongress 2015, Karlsruhe, 26.-28.Oktober 2015 |