| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240103418 |
| HGF-Programm | 43.23.02 (POF III, LK 01) X-Ray Optics |
| Veranstaltung | 6. Mikrosystemtechnik Kongress (2015), Karlsruhe, Deutschland, 26.10.2015 – 28.10.2015 |