Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2015 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 240103420 |
HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
Erscheinungsvermerk | MikroSystemTechnik Kongress 2015, Karlsruhe, 26.-28.Oktober 2015 |