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Photolithographic structuring of highly fluorinated polymers for the fabrication of microfluidic chips

Helmer, D.; Keller, N.; Rapp, B.E.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240103444
HGF-Programm 47.02.07; LK 01
Erscheinungsvermerk 19th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2015), Gyeongju, Korea, October 25-29, 2015
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