Compositional analysis of semiconductor nanostructures based on electron holography and a chemically sensitive reflection

Rosenauer, Andreas; Gerthsen, Dagmar; Van Dyck, D.; Arzberger, M.; Boehm, G.; Abstreiter, G.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Laboratorium für Elektronenmikroskopie (LEM) Universität Karlsruhe (TH) – Zentrale Einrichtungen (Zentrale Einrichtungen)
Publikationstyp	Buchaufsatz
Publikationsjahr	2002
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 24892002
Erscheinungsvermerk	In: Proceedings of the 15th International Congress on Electron Microscopy, Durban, South Africa 2002. Ed.: J. Engelbrecht. Vol. 3. S. 291.