Residual stress determination in microsystems using X-ray diffraction

Kaempfe, Bernd; Kaempfe, Andreas; Auerswald, E.; Kassem, M. E.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Fakultät für Maschinenbau – Institut für Werkstoffkunde I (IWK I)
Publikationstyp	Buchaufsatz
Publikationsjahr	2000
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 24932000
Erscheinungsvermerk	In: Proceedings of the International Conference on Micro Materials, Micromat 2000. S. 696-699.