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Residual stress determination in microsystems using X-ray diffraction

Kaempfe, Bernd; Kaempfe, Andreas; Auerswald, E.; Kassem, M.E.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Werkstoffkunde I (IWK I)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2000
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 24932000
Erscheinungsvermerk In: Proceedings of the International Conference on Micro Materials, Micromat 2000. S. 696-699.
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