Ionenimplantation in Metalleinkristalle
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Kernphysik (IAK) |
| Publikationstyp | Sonstiges |
| Publikationsjahr | 1974 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 250007470 |
| Erscheinungsvermerk | Arbeitsseminar Grundlagen und Anwendungen der Ionenimplantation in Halbleiter und andere Materialien, Muenchen, 24.-25.April 1974 AED-CONF-74-151-003 |