| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Sonstiges |
| Publikationsjahr | 1990 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 250029392 |
| HGF-Programm | 16.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | BMFT-Verbundprojekt Erzeugung, Charakterisierung und Abscheidung ionisierter Cluster 2.Zwischenbericht, (31.12.1989) 2.9 |