Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Sonstiges |
Publikationsjahr | 1990 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 250029392 |
HGF-Programm | 16.03.03 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | BMFT-Verbundprojekt Erzeugung, Charakterisierung und Abscheidung ionisierter Cluster 2.Zwischenbericht, (31.12.1989) 2.9 |