COSMOS-2D. Automatisierte Vermessung von Mikrostrukturen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Datenverarbeitung in der Technik (IDT) |
| Publikationstyp | Sonstiges |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 250029427 |
| HGF-Programm | 16.05.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | MICROSYSTEMS 1990, ICC, Berlin, September 10-13, 1990 Karlsruhe, KfK, 1991 |