Quality control for LIGA structures by measurement
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) |
| Publikationstyp | Sonstiges |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 250036406 |
| HGF-Programm | 41.05.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Micromachine Technology in 1994 Tokyo : Micromachine Center, 1994 |