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Quality control for LIGA structures by measurement

Guth, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Sonstiges
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 250036406
HGF-Programm 41.05.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Micromachine Technology in 1994 Tokyo : Micromachine Center, 1994
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