Fabrication techniques for ceramic microstructures
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Sonstiges |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 250036700 |
| HGF-Programm | 41.02.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Precision Fabrication R+D Workshop, Tokyo, J, October 27, 1992 Micromachine Technology of Europe in 1993 Tokyo : Micromachine Center, 1994 |