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Fabrication techniques for ceramic microstructures

Ritzhaupt-Kleissl, H.J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Sonstiges
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 250036700
HGF-Programm 41.02.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Precision Fabrication R+D Workshop, Tokyo, J, October 27, 1992 Micromachine Technology of Europe in 1993 Tokyo : Micromachine Center, 1994
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