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Die Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungsgebiete

Menz, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Sonstiges
Jahr 1996
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 250039479
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Spektrum der Wissenschaft : Dossier Heidelberg : Spektrum d.Wiss.Verl.-Ges. 4. Mikrosystemtechnik, 1996
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