Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Sonstiges |
Publikationsjahr | 1996 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 250039479 |
HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Spektrum der Wissenschaft : Dossier Heidelberg : Spektrum d.Wiss.Verl.-Ges. 4. Mikrosystemtechnik, 1996 |