Ein Beschleunigungssensorsystem in LIGA-Technik - Aufbau und Eigenschaften
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Sonstiges |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 250039480 |
| HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Spektrum der Wissenschaft : Dossier Heidelberg : Spektrum d.Wiss.Verl.-Ges. 4. Mikrosystemtechnik, 1996 |