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Ein Beschleunigungssensorsystem in LIGA-Technik - Aufbau und Eigenschaften

Mohr, J.; Strohrmann, M.; Fromhein, O.; Lindemann, K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Sonstiges
Jahr 1996
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 250039480
HGF-Programm 41.06.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Spektrum der Wissenschaft : Dossier Heidelberg : Spektrum d.Wiss.Verl.-Ges. 4. Mikrosystemtechnik, 1996
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