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Improved handling of wafers for micro-electroforming

Guttmann, M.; Moritz, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Sonstiges
Publikationsjahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 250053960
HGF-Programm 41.02.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Firmenschrift der Fa.Silicet AG, Lohfelden, 2003
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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