Microstructuring of preceramic polymers using X-ray lithography
Schulz, M.
; Hanemann, T.; Hausselt, J.
; Hanemann, T.; Hausselt, J.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Sonstiges |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 250055342 |
| HGF-Programm | 41.03.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Broussard, L.A. [Hrsg.] CAMD 2002 Annual Report Baton Rouge, La. : Louisiana State University, Center for Advanced Microstructures and Devices, 2003 Auch als CD-ROM |