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Microstructuring of preceramic polymers using X-ray lithography

Schulz, M.; Hanemann, T.; Hausselt, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Sonstiges
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 250055342
HGF-Programm 41.03.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Broussard, L.A. [Hrsg.] CAMD 2002 Annual Report Baton Rouge, La. : Louisiana State University, Center for Advanced Microstructures and Devices, 2003 Auch als CD-ROM
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