| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Sonstiges |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 250064848 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
| Erscheinungsvermerk | Systemintegration in der Mikroelektronik : Messe und Kongress, Nürnberg, 30.Mai - 1.Juni Tutorial 24: Die Schutzbeschichtung und ihre steigende Bedeutung für den sicheren Betrieb von elektrischen Baugruppen Tutorialdokumentation Stuttgart : Mesago Messe Frankfurt GmbH, 2006 |