| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Sonstiges |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-935406-36-9 KITopen-ID: 250074115 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
| Erscheinungsvermerk | Frankfurt : GfKORR, 2008 |