X-ray masks with tungsten absorbers for use in the LIGA process
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 251293 |
| Erscheinungsvermerk | Microelectron. engng. 21 (1993) S. 123-126. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 94S152 |