The LIGA technique and its potential for industrial application
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 251393 |
| Erscheinungsvermerk | In: Proceedings. 1st IFToMM International Micromechanism Symposium, Tokyo 1993. S. 106-113. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 94S153 |