Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 1993 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 251493 |
Erscheinungsvermerk | In: Digest of technical papers. The 7th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, Transducers'93, Yokohama, Japan 1993. S. 116-119. |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 94S154 |