Bistable fluidic elements in LIGA-technique as microactuators
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 251493 |
| Erscheinungsvermerk | In: Digest of technical papers. The 7th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, Transducers'93, Yokohama, Japan 1993. S. 116-119. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 94S154 |