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Micro optical switching by electrostatic linear actuators with large displacements

Mohr, Juergen; Kohl, M.; Menz, Wolfgang


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 1993
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 251593
Erscheinungsvermerk In: Digest of technical papers. The 7th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, Transducers'93, Yokohama, Japan 1993. S. 120-123.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 94S155
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