Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1993 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | ISSN: 1023-0823 KITopen-ID: 251693 |
HGF-Programm | 41.01.04 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Technische Rundschau |
Verlag | Binkert Medien |
Band | 85 |
Heft | 24 |
Seiten | 16 |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 94S156 |