Schadstoffreduzierung bei der Gasphasenreinigung von Plasma-CVD-Anlagen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 251893 |
| Erscheinungsvermerk | In: Materialien in ihrer Umwelt. Duesseldorf 1993. S. 295-303. (VDI-Berichte. 1060.) |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 94S158 |