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Schadstoffreduzierung bei der Gasphasenreinigung von Plasma-CVD-Anlagen

Guber, A.; Koehler, Uwe Erich; Bier, Wilhelm



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 1993
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 251893
Erscheinungsvermerk In: Materialien in ihrer Umwelt. Duesseldorf 1993. S. 295-303. (VDI-Berichte. 1060.)
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 94S158
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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