High-intensity ionized cluster beams for surface modification: deposition and erosion
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 251993 |
| HGF-Programm | 52.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B |
| Seiten | 1336-39 |
| Erscheinungsvermerk | Nucl. instrum. and meth. in phys. res. B 80/81 (1993) S. 1336-1339. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 94S159 |