| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 252093 |
| Erscheinungsvermerk | In: 8. SAVE-Tagung, Wiesbaden 1993. Tagungsband 1. Hrsg.: W. Zorn. S. 1-19. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 94S160 |