Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 1993 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 252093 |
Erscheinungsvermerk | In: 8. SAVE-Tagung, Wiesbaden 1993. Tagungsband 1. Hrsg.: W. Zorn. S. 1-19. |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 94S160 |