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Fertigungsverfahren fuer die Mikrosystemtechnik

Linder, C.; Rooij, N. F. de; Peters, Ralf-Peter; Uenal, Nezih; Ruprecht, Robert


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1993
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 252293
HGF-Programm 41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in tm - Technisches Messen
Band 60
Seiten 319-28
Erscheinungsvermerk Tech. Messen 60 (1993) S. 319-328.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 94S162
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