Fertigungsverfahren fuer die Mikrosystemtechnik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 252293 |
| HGF-Programm | 41.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | tm - Technisches Messen |
| Band | 60 |
| Seiten | 319-28 |
| Erscheinungsvermerk | Tech. Messen 60 (1993) S. 319-328. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 94S162 |