Fertigungsverfahren fuer die Mikrosystemtechnik

Linder, C.; De Rooij, N. F.; Peters, R.-P.; Ünal, N.; Ruprecht, R.

Originalveröffentlichung
DOI: 10.1524/teme.1993.60.9.319

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	1993
Sprache	Deutsch
Identifikator	ISSN: 0171-8096, 0170-575X, 0340-4021, 0340-837X, 0365-7418, 2196-7113 KITopen-ID: 252293
HGF-Programm	41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in	Technisches Messen
Verlag	De Gruyter
Band	60
Heft	9
Seiten	319-328
Bemerkung zur Veröffentlichung	Sonderdrucknummer 94S162