Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1993 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 252393 |
HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | tm - Technisches Messen |
Band | 60 |
Seiten | 330-38 |
Erscheinungsvermerk | Tech. Messen 60 (1993) S. 330-338. |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 94S163 |