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Microspectrometer fabricated by the Liga process

Mueller, Claas; Mohr, Juergen


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1993
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 252493
HGF-Programm 41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Interdisciplinary Science Reviews
Band 18
Seiten 273-79
Erscheinungsvermerk Interdisciplinary sci. rev. 18 (1993) S. 273-279.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 94S164
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