Mikrostrukturierung mit Nanoteilchen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 252593 |
| HGF-Programm | 52.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | KfK-Nachrichten |
| Band | 25 |
| Seiten | 145-50 |
| Erscheinungsvermerk | KfK-Nachr. 25 (1993) S. 145-150. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 94S165 |