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DOI: 10.5445/IR/254289
Veröffentlicht am 21.08.2018

Untersuchung zur Abformung von galvanisierbaren Mikrostrukturen mit grosser Strukturhoehe aus elektrisch isolierenden und leitfaehigen Kunststoffen

Harmening, Michael; Ehrfeld, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1989
Sprache Deutsch
Identifikator URN: urn:nbn:de:swb:90-AAA2542896
KITopen ID: 254289
Reportnummer: KFK-4711
HGF-Programm 16.02.03; LK 01
Serie KfK-Berichte ; 4711
Abschlussart Dissertation
Prüfungsdaten Diss. v. 1.12.1989
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