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Untersuchung zur Abformung von galvanisierbaren Mikrostrukturen mit grosser Strukturhoehe aus elektrisch isolierenden und leitfaehigen Kunststoffen

Harmening, Michael; Ehrfeld, W.


Volltext §
DOI: 10.5445/IR/254289
Veröffentlicht am 21.08.2018
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1989
Sprache Deutsch
Identifikator urn:nbn:de:swb:90-AAA2542896
KITopen-ID: 254289
Reportnummer: KFK-4711
HGF-Programm 16.02.03 (Vor POF, LK 01)
Serie KfK-Berichte ; 4711
Art der Arbeit Dissertation
Prüfungsdaten Diss. v. 1.12.1989
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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