| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1989 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-AAA2542896 KITopen-ID: 254289 Reportnummer: KFK-4711 |
| HGF-Programm | 16.02.03 (Vor POF, LK 01) |
| Serie | KfK-Berichte ; 4711 |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Prüfungsdaten | Diss. v. 1.12.1989 |