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Untersuchung zur Abformung von galvanisierbaren Mikrostrukturen mit grosser Strukturhoehe aus elektrisch isolierenden und leitfaehigen Kunststoffen

Harmening, Michael; Ehrfeld, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1989
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 254289
Reportnummer: KFK-4711
HGF-Programm 16.02.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 1.12.1989. (KfK-Bericht. Nr. 4711.)
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten Diss. v. 1.12.1989
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