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Design, Herstellung und Charakterisierung eines mikromechanischen Gyrometers auf der Basis der LIGA-Technik

Schumacher, Knut; Wallrabe, Ulrike; Mohr, Jürgen


Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1999
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 25699
Verlag Universität Karlsruhe (TH)
Erscheinungsvermerk Karlsruhe 1999. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6361.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 31.5.1999 von Knut Schumacher.
Art der Arbeit Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Prüfungsdaten Diss. v. 31.5.1999
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