Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Maschinenbau – Institut für Werkstoffkunde I (IWK I) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2002 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0946-7076 KITopen-ID: 25982002 |
Erschienen in | Microsystem technologies |
Verlag | Springer |
Band | 8 |
Heft | 2-3 |
Seiten | 109-112 |