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Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung

Both, Alexander Bernd; Bacher, Walter; Heckele, M.; Ruprecht, Robert

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Volltext §
DOI: 10.5445/IR/26695
Coverbild
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator urn:nbn:de:swb:90-AAA266953
KITopen-ID: 26695
Reportnummer: FZKA-5671
HGF-Programm 41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Serie Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 5671
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten Diss. v. 22.6.1995
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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