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Analysis of Amorphous Layers on Silicon by Backscattering and Channelling Effect Measurements

Meyer, O.; Gyulai, J.; Mayer, J.W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Kernphysik (IAK)
Publikationstyp Forschungsbericht
Jahr 1970
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 270003323
Reportnummer: KFK-1341
Erscheinungsvermerk Surface Science, 22(1970) KFK-1341 (Dezember 70)
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