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Konzepte fuer die Herstellung von Vielkanal-Bildverstaerkerplatten durch Roentgentiefenlithographie und Mikrogalvanoplastik

Becker, E. W.; Becker, F. S.; Ehrfeld, W.


Volltext §
DOI: 10.5445/IR/270020151
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp Forschungsbericht/Preprint
Publikationsjahr 1984
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 270020151
Reportnummer: KFK-3750
Erscheinungsvermerk KfK-3750 (Juni 84)
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