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Konzepte fuer die Herstellung von Spinnduesenplatten durch Roentgenlithographie mit Synchrotronstrahlung, Galvanoformung und Kunststoffabformung

Becker, E. W.; Ehrfeld, W.; Hagmann, P.; Maner, A.; Mohr, J.; Muenchmeyer, D.


Volltext §
DOI: 10.5445/IR/270021616
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp Forschungsbericht/Preprint
Publikationsjahr 1985
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 270021616
Reportnummer: KFK-3961
Erscheinungsvermerk KfK-3961 (August 85)
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