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Konzepte fuer die Herstellung von Spinnduesenplatten durch Roentgenlithographie mit Synchrotronstrahlung, Galvanoformung und Kunststoffabformung

Becker, E.W.; Ehrfeld, W.; Hagmann, P.; Maner, A.; Mohr, J.; Muenchmeyer, D.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp Forschungsbericht
Jahr 1985
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 270021616
Reportnummer: KFK-3961
Erscheinungsvermerk KfK-3961 (August 85)
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