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Herstellung von Mikrostrukturen mit grossem Aspektverhaeltnis und grosser Strukturhoehe durch Roentgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung, Galvanoformung und Kunststoffabformung (LIGA-Verfahren)

Becker, E.W.; Ehrfeld, W.; Hagmann, P.; Maner, A.; Muenchmeyer, D.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp Forschungsbericht
Jahr 1985
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 270022025
Reportnummer: KFK-3995
Erscheinungsvermerk KfK-3995 (November 85)
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