KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Herstellung von Mikrostrukturen mit grossem Aspektverhaeltnis und grosser Strukturhoehe durch Roentgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung, Galvanoformung und Kunststoffabformung (LIGA-Verfahren)

Becker, E.W.; Ehrfeld, W.; Hagmann, P.; Maner, A.; Muenchmeyer, D.

Open Access Logo


Volltext §
DOI: 10.5445/IR/270022025
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp Forschungsbericht/Preprint
Publikationsjahr 1985
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 270022025
Reportnummer: KFK-3995
Erscheinungsvermerk KfK-3995 (November 85)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page