Herstellung von Mikrostrukturen mit grossem Aspektverhaeltnis und grosser Strukturhoehe durch Roentgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung, Galvanoformung und Kunststoffabformung (LIGA-Verfahren)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsjahr | 1985 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 270022025 Reportnummer: KFK-3995 |
| Erscheinungsvermerk | KfK-3995 (November 85) |