Improvements in the properties of NbN layers through the presence of small amounts of aluminum during sputtering
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nukleare Festkörperphysik (INFP) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsjahr | 1988 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 270026532 Reportnummer: KFK-4409 |
| Erscheinungsvermerk | KfK-4409 (September 88) |