KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Improvements in the properties of NbN layers through the presence of small amounts of aluminum during sputtering

Haase, E.L.; Ruzicka, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nukleare Festkörperphysik (INFP)
Publikationstyp Forschungsbericht
Jahr 1988
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 270026532
Reportnummer: KFK-4409
Erscheinungsvermerk KfK-4409 (September 88)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page