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Improvements in the properties of NbN layers through the presence of small amounts of aluminum during sputtering

Haase, E. L.; Ruzicka, J.

Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nukleare Festkörperphysik (INFP)
Publikationstyp Forschungsbericht/Preprint
Publikationsjahr 1988
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 270026532
Reportnummer: KFK-4409
Erscheinungsvermerk KfK-4409 (September 88)

Volltext §
DOI: 10.5445/IR/270026532
Seitenaufrufe: 113
seit 31.05.2018
Downloads: 102
seit 30.09.2016
Cover der Publikation
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