Endbericht ueber die Ergebnisse der Vorprojektstudie von COSY MicroTec GmbH, Berlin und KfK zum Bau einer kompakten Synchrotronstrahlungsquelle fuer die Roentgentiefenlithographie im Kernforschungszentrum Karlsruhe
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsjahr | 1988 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 270026977 Reportnummer: KFK-4505 |
| Serie | KfK-Berichte ; 4505 |
| Erscheinungsvermerk | KfK-4505 (Dezember 88) |