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Endbericht ueber die Ergebnisse der Vorprojektstudie von COSY MicroTec GmbH, Berlin und KfK zum Bau einer kompakten Synchrotronstrahlungsquelle fuer die Roentgentiefenlithographie im Kernforschungszentrum Karlsruhe

Klingelhoefer, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp Forschungsbericht
Jahr 1988
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 270026977
Reportnummer: KFK-4505
Erscheinungsvermerk KfK-4505 (Dezember 88)
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