Mikrofertigung durch Roentgentiefenlitho- graphie mit Synchrotronstrahlung
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsjahr | 1989 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 270027738 Reportnummer: KFK-4492 |
| HGF-Programm | 16.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | In: Moser, H.O.; [Hrsg.] Anwendungsspektrum moderner supraleitender Kompaktquellen fuer Synchrotronstrahlung am Beispiel der konzipierten Karlsruher Quelle (KSSQ). KfK-4492 (Juni 89) |