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Mikrofertigung durch Roentgentiefenlitho- graphie mit Synchrotronstrahlung

Ehrfeld, W.; Bley, P.; Muenchmeyer, D.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Forschungsbericht
Jahr 1989
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 270027738
Reportnummer: KFK-4492
HGF-Programm 16.01.03; LK 01
Erscheinungsvermerk In: Moser, H.O.; [Hrsg.] Anwendungsspektrum moderner supraleitender Kompaktquellen fuer Synchrotronstrahlung am Beispiel der konzipierten Karlsruher Quelle (KSSQ). KfK-4492 (Juni 89)
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