| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsjahr | 1990 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-AAA2700298884 KITopen-ID: 270029888 Reportnummer: KFK-4807 |
| HGF-Programm | 16.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Serie | KfK-Berichte ; 4807 |